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精密设备、精密仪器仪表的容许振动值，应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可参照《隔振设计规范》GBJ 22执行。

精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件:

1 周围振源对其综合影响的振动数据。

2 设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。

3 设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。

4 设备、仪器仪表的底座外轮廓图、附属装置、管道位置及坑、沟、孔洞尺寸、地脚螺栓及预埋件位置等。

5 设备、仪器仪表的调平要求。

6 设备、仪器仪表的容许振动值。

7 所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外形尺寸及安装条件。

管材选择应符合下列要求:

1 纯水管道的管材必须满足生产工艺对水质的要求，根据需要可选择不锈钢管等管材。

2 工艺设备用循环冷却给水和回水管可采用镀锌钢管、不锈钢管或工程塑料管。

3 管道配件应采用与管道相应的材料。

纯水和冷却水管道应预留清洗口。洁净厂房周围应设置洒水设施。

排水系统应根据工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等特点确定。***废水经废水处理，达到***排放标准后排出。

洁净厂房必须设置消防给水系统，其设计应根据生产的火灾***性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。

洁净室的生产层及上下技术夹层（不含不通行的技术夹层），实验室装修价格，应设置室内消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同时使用水枪数不少于2支，实验室装修，水枪充实水柱长度不小于10m，实验室装修多少钱，每只水枪的出水量应按不小于5L/s计算。

1 当设置自动喷水灭火系统时，宜采用预作用式自动喷水灭火系统。

2 当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。