Agilent VHS-6 扩散泵具有 4 英寸、6 英寸、250 mm、10 英寸和 400 mm 多种尺寸，是当今同尺寸扩散泵中最快、最洁净的产品。VHS 系列拥有专利的凸腔设计能使气体捕集量翻倍，并且可以保持更低的压力。所有 VHS 系列泵都配有油位观察窗/注油和放油组件，便于连续监测和对泵油的维护。鳍片式加热盘设计增大了表面积，并延长了泵油的使用寿命。过热保护开关和速冷盘管也是标准配置。4 英寸、6 英寸和 10 英寸泵可随泵订购 ASA 或 ISO 法兰、标准或外延冷却帽，还有多种电压型号可选。
特性：
1.可达到最高抽速。
2.油位观察窗可随时快速指示泵流体的状况。
3.泵油注排组件
4.分馏喷嘴可纯化泵油。
5.前级耐压高。
6.过热保护。
7.不锈钢泵体和喷嘴
8.翅片加热盘设计增大表面积，并延长泵油寿命。
性能指标：
技术指标：
| 抽气速率，工作范围 抽气速率，AVS4.1 (1963) | 1550 L/s 空气，1930 L/s 氦气和氢气 2400 L/s 空气 |
| 最大抽气量 | 在工作范围内为 2.4 T L/s (3.2 mbar L/s)，0.01 Torr 时为 3.5 T L/s (4.5 mbar L/s) |
| 操作范围 | 1.5 x 10-3 至低于 5 x 10-9 torr（2 x 10-3 至低于 6.5 x 10-9 mbar） |
| 最大前级耐压 | 无负载：0.65 torr (0.85 mbar) 满载：0.55 torr (0.72 mbar) |
| 推荐前级泵 | ≥ 17 cfm (29 m3/h) |
| 返油率，标准冷却帽 | 低于 5 x 10-4 mg/cm2/min |
| 预热时间 | 10 min |
| 冷却时间 | 10 分钟（使用速冷盘管） |
| 注油量 | 500 cc — 准确的泵油包装可用 |
| 电气要求 | 单相，50/60 Hz，120/208/240 VAC |
| 泵功率 | 2200 W |
| 冷却水要求 | 在 60-80 ℉ (15-26 ℃) 时，抽速为 0.25 gpm (50 L/h) |
| 连接水冷 | 1/8 英寸 FPT 三通 |