引起激光干涉仪测量误差的部分原因:
阿贝误差:因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,激光干涉仪公司,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,引起的阿贝误差越大。
正确方式:设备校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴,使激光光束与运动轴重合(或尽量靠近),减小阿贝误差。
扩展:SJ6000激光干涉仪用户在进行两台同类设备***精度的对比时,应该进行同轴比对,即共用线性镜组,这样才具有可比性。
激光干涉仪的用途
激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在动态测量软件的配合下,激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。
使用环境
因为光学玻璃受热变形将产生光学表面光圈的变化,激光干涉仪,温度不稳定将直接影响测量精度的可靠性,所以激光干涉仪的使用对环境也有一定的要求:
1、温度要求在20℃左右,湿度不大于60%。
2、远离振动源,以免条纹产生抖动影响测量精度的判断。
激光干涉仪的使用方法:
1、开机:接通电源打开电源开关,激光干涉仪哪个牌子好,1分钟后开始检测。(因为刚开机激光器不稳定)
2、光路调整:旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点,显示器上显示完整的圆形图像。
显示器圆形图像
3、透镜面形检测:调节沉座到被检透镜的适合尺寸,(建议大批量固定透镜的检测,自己加工固定的沉座)放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合,观测显示器是否出现干涉条纹,条纹越少精度越高。干涉图像与对准系统同步,无需切换,任何人都能简单操作。高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸,可简便的测量出曲率半径。
4、透镜曲率半径检测:开启标尺电源开关(清零),调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条),凸透镜向上调节高度(凹透镜向下调节高度)到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮,使图像出现猫眼像,标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。
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