主要工艺流程分为：吸附阶段、脱附阶段、间歇淋水阶段、冷却干燥阶段、分层分离阶段、计量回收阶段；根据不同废气工况通常增设不同的预处理工艺。RTO、RCO、CO高温氧化有机废气处理工艺。该工艺占地面积小、高浓度时能耗低、***少、处理效率高、运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作。
主要针对成分复杂、无回收经济价值、VOCs浓度高的有机废气；经过一级处理后，有机废气净化效率高达98%以上；无污染物转移，无二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；根据不同工况可做余热回收利用。3）吸附浓缩 高温催化氧化有机废气处理工艺。VOC有机废气处理设备工艺占地面积小、能耗低、及运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作；主要针对成分复杂、无回收经济价值、有机废气浓度低的废气；经过处理后，VOC有机废气处理设备净化效率高达95%以上；无污染物转移，没有二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；该工艺根据不同有机废气成分选用不用的吸附剂，通常选用蜂窝活性炭、碳纤维、颗粒活性炭、分子筛等。
在VOC有机废气处理设备的作用下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下迅速氧化成水和二氧化碳，达到治理的目的。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末出现的技术。从1949年美国研制出世界上一套VOC有机废气处理设备到现在，这项技术已广泛地应用于油漆、橡胶加工、塑料加工、树脂加工、皮革加工、食品业和铸造业等部门，也用于汽车废气净化等方面。中国在1973年开始将催化燃烧法用于治理漆包线烘干炉排出的有机废气,随后又在绝缘材料、印刷工业等方面进行了研究,使催化燃烧法得到了广泛的应用。
国内外对有机废气治理的常用方法有三种:液体吸收法、活性炭吸附法及催化燃烧法。液体吸收法净化效率为60%~80%,适合处理低浓度,大风量的有机废气,但存在着二次污染;催化燃烧法净化率为95%,适合处理高浓度,小风量的有机废气,缺点是对处理对象要求苛刻,该法要求气体的温度较高,为了提高废气温度,要消耗大量的燃料,所以运行费用很高
