微小气体流量计 低耐压型质量流量计 气体流量控制器
AX10FC-L采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置，具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定，报警点设定，阀门状态、自动校准等。
与热式流量计不同，当使用气体转换系数时，V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。
产品应用
产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析仪器等。
产品特点
● 普通低压型，适于1Mpa以下非腐蚀的清洁气体
● 无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年
● 准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定
● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
● 无需预热，测量时无响应滞后
● 内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度
● 自动累计，分段累计功能
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技术指标 |
AX10FC-LC质量流量控制器 |
AX10FC-LM质量流量计 |
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量程范围 |
小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM |
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控制范围 |
控制器50：1 |
流量计100：1
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准 确 度 |
流量：&plu***n;0.8%读数&plu***n;0.2%满量程 |
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可选&plu***n;0.4%读数&plu***n;0.2%满量程 |
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压力：0.5%F.S 温度：&plu***n;1℃ |
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线 性 |
&plu***n;0.5%F.S |
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重复精度 |
&plu***n;0.2%F.S |
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响应时间 |
100ms |
10ms |
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数 字 量 |
RS232/485，MODBUS协议 |
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模 拟 量 |
0～5V、4～20mA、1～5V |
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供电 |
12V/24V/&plu***n;15V可选 |
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工作温度 |
0～50℃ |
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工作压力 |
工作压差：0.03～0.5MPa |
工作压降：<0.01Mpa |
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***大耐压 |
1MPa |
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电气连接 |
DB15孔 |
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漏 率 |
1×10-9SccsHe |
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温度系数 |
&plu***n;0.015%F.S/℃ |
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底座材质 |
316L |
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密封材料 |
氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 |
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接 头 |
VCR1/4;swagelokφ6 |
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