直接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器
AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，AX10FC也同样适用。
AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点
● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● ***测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数 技术指标 AX10FC-RC质量流量控制器 AX10FC-RM质量流量控制器 量程范围 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM 控制范围 控制器20：1 流量计20：1 准 确 度 流量：&plu***n;3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：&plu***n;1℃ 线 性 &plu***n;0.5%F.S 重复精度 &plu***n;0.2%F.S 响应时间 100ms 10ms 数 字 量 RS232/485，MODBUS协议 模 拟 量 0～5V、4～20mA、1～5V 供电 12V/24V/&plu***n;15V可选 工作温度 0～50℃ 工作压力 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa ***大耐压 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa 电气连接 DB15孔 漏 率 1×10-9SccsHe 温度系数 &plu***n;0.015%F.S/℃ 底座材质 316L 密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 接 头 VCR1/4;swagelokφ6