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超声波发生器采用的他激式震荡电路结构，较自激式震荡电路结构在输出功率增加10%以上。超声波放大电路形式采用线性放大电路和开关电源电路。开关电源电路的优点：转换效率高，因此大功率超声波电源采用此形式。线性电源电路的优点：不严格要求电路匹配，允许工作频率连续快速变化。当超声波发生器接入电压的发生变化时，发生器的输出功率也随着发生变化。会使超声波换能器的机械振动不稳定，导致工作效果不佳。因此需要稳定输出功率，通过功率反馈信号相应调整功率放大器，使得功率放大稳定。换能器工作在谐振频率点时效率高，工作稳定。
而换能器的谐振频率点会因装配和工作老化而改变。如果改变的频率只是漂移，变化不大，频率跟踪信号可以控制信号发生器，使信号发生器的频率在一定范围内跟踪换能器的谐振频率点，让发生器工作在佳状态。随着现代电子技术，特别是微处理器(uP)及信号处理器(DSP)的发展，超声波发生器的功能越来越强大，但不管如何变化，其核心功能应该是如下所述的内容，只是每部分在实现时技术不同而已。超声波发生器来产生一个特定频率的信号，这个信号可以是正弦信号，也可以是脉冲信号，这个特定频率就是提供输出功率信号，我们知道当超声波发生器的供电电源（电压）发生变化时．超声波发生器的输出功率也会发生变化，这时反映在超声波换能器上就是机械振动忽大忽小，导致清洗效果不稳定．因此需要稳定输出功率，通过功率反馈信号相应调整功率放大器，使得功率放大稳定。