激光干涉仪工作原理
激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至***标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，激光干涉仪厂家，在高1端制造领域应用广泛。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、***1高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，芜湖激光干涉仪，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
激光干涉仪的开发，激光干涉仪价格多少，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
阿贝误差。阿贝误差原理是长度计量和长度计量仪器设计中***经典的测量原理。被测轴线和测量轴线应在同一直线或其延伸线上，如果在一个偏离的被测位移的位置上进行测量时，部件的任何角运动都将产生一个误差。估算角运动产生的误差的一条有益经验是：每角秒的角运动产生约5um/m的偏移。对于阿贝偏移为200mm，2秒的角运动，其测量位移误差为200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。
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余弦误差。激光束路径对应机床运动轴线如未对准，将在测量长度同实际移动长度间产生一个误差。由于这个误差与光束和实际运动间未对准角的余弦成比例，所以未对准误差通常称为余弦误差。余弦误差=1-cosθ，对于较小的θ，余弦误差近似于θ2/2。举例来说，当 =1mrad (3 arcmin)，则余弦误差为0.5ppm。
当激光测量系统与机床移动轴线未对准时，余弦误差将使测量长度小于实际长度。消除余弦误差的方法是在安装时确保良好的对准。
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