Dimension 3100 SPM使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术,可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点***系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据处理能力。
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