【伯东公司供应】Pfeiffer 离子分析质谱仪 离子分析
外部产生的离子，例如等离子体产生的离子的分析。在此过程中离子光学器件替代了离子源使用。
次级离子质谱仪
SIMS(二次离子质谱仪)是一项经证明可靠成熟的表面分析技术。它可用作独立测量方法,也与其它表面分析方法连用，如SCA(化学分析用电子光谱法)和AES（俄歇电子能谱法）。SIMS具有高的灵敏度和能检测对分析结果又决定性作用的同位数，因此,SIMS常被选用。
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质量数范围 |
1-340 |
1-512 |
1-1024 |
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检测极限 |
用于正粒子 |
cps |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
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用于负粒子 |
cps |
10 |
10 |
10 |
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动态范围 |
用于正粒子 |
cps |
107 |
107 |
107 |
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用于负粒子 |
cps |
105 |
105 |
105 |
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工作压力，最大 |
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mbar |
1.10-5 |
1.10-5 |
1.10-5 |
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分析仪 |
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QMA 410 |
QMA 400 |
QMA 400 |
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测杆系统，直径／长度 |
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mm |
Mo/16/300 |
Mo/8/200 |
Mo/8/200 |
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90°偏轴SEM |
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SEM 217 |
SEM 217 |
SEM 217 |
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离子光学镜，配有电子束止挡、绝缘的 |
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3透镜 |
3透镜 |
3透镜 |
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高压电源 |
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HV421 |
HV421 |
HV421 |
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RF发生器 |
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QMH 410-3 |
QMH 400-5 |
QMH 410-1 |
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离子计数器前置放大器 |
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CP 400 |
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