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离子注入气( Gases for Ion Implantation)：离子注入是把离子化的杂质， 例如P 、B 、As 加速到高能量状态，然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制V th(阈值电压) 方面应用得***为广泛。注入的杂质量可通过测量离子束电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气， 有磷系、硼系和气体。
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10. 非液化气体(Nonliquefied Gases)：压缩气体依据于一定压力和温度下在气瓶中的物理状态和沸点范围可以区分为两大类， 即液化气体和非液化气体。非液化气体系指除溶解在溶液中的气体之外， 在2111 ℃和罐装压力下完全是气态的气体。也可定义为在正常地面温度和13789～17237kPa 压力下不液化的气体。
11. 液化气体( Liquefied Gases )：在2111 ℃和罐装压力下部分液化的气体。或定义为在正常温度和172142～17237kPa 压力下在气瓶中液化的气体。压缩气体(Compressed Gases) 压缩气体是指在2111 ℃下， 在气瓶中压力超过27518kPa 的任何气体或混合物; 或与2111 ℃下的压力无关， 于5414 ℃下压力超过717kPa 的任何气体或混合物; 或于3718 ℃下气体压力超27518kPa 的任何液体。
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焊接保护气体(Welding Gases)：气体保护焊由于具有焊接质量好，液氮厂家， 效率高， 易实现自动化等优点而得以迅速发展。焊接保护气体可以是单元气体， 也有二元、三元混合气。采用焊接保护气的目的在于提高焊缝质量， 减少焊缝加热作用带宽度， 避免材质氧化。单元气体有***气、二氧化碳， 二元混合气有***和氧， ***和二氧化碳， ***和氦， ***和氢混合气。三元混合气有氦、***、二氧化碳混合气。应用中视焊材不同选择不同配比的焊接混合气。
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