激光干涉仪-合肥迈思瑞激光干涉仪-空间激光干涉仪

激光干涉仪工作原理

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，双频激光干涉仪价格，且可以溯源至***标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高1端制造领域应用广泛。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、***1高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，激光干涉仪，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，空间激光干涉仪，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪常见故障及解决方法

开机无显示：1、是否接上电源打开开关。2、显示器是否切换到BNC模式。

视场不完整：1、标准镜头是否旋到位。2、标准镜头星点是否与寻星窗口中间的黑点重合。

高度调节不明显：检查高度调节旋钮是否锁紧。

干涉条纹暗：调节干涉仪上的亮度调节旋钮。

干涉条纹乱：检查标准镜头与被测透镜表面是否干净。

被测镜片星点像找不到：调整镜片的中心，看镜片是否放置的倾斜。

条纹亮暗闪动：调节标准镜头的圆形图像。