可选磁性和真空
移动范围:12mm
分辨率可至 1um
多种型号可选
Model : MH100, MH200, MH300, MH500
移动范围:12mm
分辨率可至 1um
多种型号可选
Model : MH100, MH200, MH300, MH500
探针座型号
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NH110
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NH300
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NH350
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NH500
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尺寸mm
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70×50
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70×35
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50×30
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110×125
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XY位移范围mm
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12
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12
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11
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25
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Z位移范围 mm
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8
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12
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11
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16
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位移精度μm
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1
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5
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5
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3
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