可选磁性和真空 
移动范围:12mm
分辨率可至 1um
多种型号可选
Model : MH100, MH200, MH300, MH500
移动范围:12mm
分辨率可至 1um
多种型号可选
Model : MH100, MH200, MH300, MH500
| 探针座型号 | NH110 | NH300 | NH350 | NH500 | 
| 尺寸mm | 70×50 | 70×35 | 50×30 | 110×125 | 
| XY位移范围mm | 12 | 12 | 11 | 25 | 
| Z位移范围 mm | 8 | 12 | 11 | 16 | 
| 位移精度μm | 1 | 5 | 5 | 3 | 

 
                             
                             
                             
                             
                             
            