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干式真空泵的应用主要有以下几个方面：低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止***造成污染，适合用干式真空泵。用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

液环真空泵定期维护工作：

（1）液环真空泵在正常的工作中要注意检查轴承的工作和润滑情况，其温度（轴承和外圆处）比环境温度一般高出15℃～20℃为宜，高不允许超过30℃～35℃，即轴承架外圆处实际温度不应超过55℃～60℃；正常工作的轴承每年应加油3～4次，每年至少清洗轴承一次，并将润滑油全部更换。

（2）液环真空泵在正常工作中还要定期压紧填料，如果填料因磨损而不能保证所需要的密封性能时，应更换新填料。如果采用机械密封，发现泄漏现象，应检查机械密封的动静环是否已损坏或是辅助密封老化，如出现上述情况，均需要更换新零件。

（3）液环真空泵在出现特殊声音时，真空泵多少钱，可拆下两端盖上的压板，查看叶轮两端面是否与分配器研伤，真空泵公司，还可检查排气阀板是否正常。

针对真空泵工作时有粉尘、酸性气体，真空泵，真空泵长时间连续工作的工况，对真空泵的维护、***工艺有以下几点：

1、在真空泵的进气口加金属过滤网;

2、对于真空泵的维护、***，采取两周为一个周期，清理油箱内的沉淀物，强制更换真空泵油，清理金属过滤网，检查、更换破损的阀片、弹簧的工作方法。

3、在真空泵油的选择要求上，应选择饱合气压低的、运动粘度为100mm2/s的矿物油，该油具有价格低廉的特点(对于钛熔炼，选用合成真空泵油，经济上是不合算的);

4、在铸锭冷却期间或生产空闲时间，真空泵品牌，要求生产班组打开气镇阀，将泵气镇lh左右，将泵油中的水分尽可能排出泵外;通过勤换泵油，保持泵腔的洁净，保证泵油的合理粘度，维持其密封性能，还能减少硬质颗粒对泵腔的划伤;

5、通过排除油内的水分，减少盐酸的生成，延缓盐酸对泵腔内构件的腐蚀。