合肥迈思瑞激光干涉仪(图)-激光干涉仪公司-宣城激光干涉仪

激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。

使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：

余弦误差。激光束路径对应机床运动轴线如未对准，将在测量长度同实际移动长度间产生一个误差。由于这个误差与光束和实际运动间未对准角的余弦成比例，所以未对准误差通常称为余弦误差。余弦误差=1-cosθ，对于较小的θ，余弦误差近似于θ2/2。举例来说，当 =1mrad (3 arcmin)，则余弦误差为0.5ppm。

当激光测量系统与机床移动轴线未对准时，余弦误差将使测量长度小于实际长度。消除余弦误差的方法是在安装时确保良好的对准。

激光干涉仪的用途：沿水平轴直线度测量

水平轴直线度检测，将直线度干涉镜安装在激光干涉仪的激光器和直线度反射镜之间。激光器发射出来的光束将穿过直线度干涉镜，此时，光束将被分成两束相同频率的光源，通过直线度反射镜，激光干涉仪厂商，将两束激光反射汇聚到干涉镜，在返回激光器。通过移动直线度反射镜，两束相同光源的光将会发生干涉。激光器将检测干涉的光波，来确定在直线度干涉镜移动的方向上，会产生多少大的偏差。并记录下偏差值，激光干涉仪公司，以供设备安装调试使用。

激光干涉仪调光步骤及技巧

垂直度测量

光学组件：光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。

测量原理：沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，分别进行直线度测量，从而测量其垂直度。通常，宣城激光干涉仪，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。

光学器件安装：

垂直轴与水平轴之间的垂直度测量光路校准步骤（光线横向水平射出并返回）：

一号光靶位于垂直转向镜的入光侧，二号光靶位于回射反射镜上，三号光靶位于光学直角尺入光侧中心刻度线处，请注意光靶小光孔的朝向。

1、右进左出，调节三角架，拉直激光，近、远端对正一号光靶。近端上下、左右调节，远端扭摆、俯仰调节。

2、将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮。

3、拆除一、二号光靶，调节激光头上下、左右位置，将激光对准三号光靶，激光干涉仪经销商，调好近、远端。

4、安装直线度反射镜，在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶，光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。

5、人工去除斜率误差。

A、由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上，需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。

b、消除斜率过程中，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率消除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。