激光干涉仪机器表面温度的影响之减少及消除的方法
在定“零点”时,若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的,则死程误差可以忽略不计。
在移动光学镜位于坐标轴零点位置时,两个光学元件彼此间距离为***1大的这种机器上,可按下述方法进行预置,以避免激光干涉仪以该点定零点时引起的潜在的死程误差:
①把移动光学镜放在坐标轴零点位置上;
②激光干涉仪定零点;
③把移动光学镜运动到坐标轴另一端(使两个光学镜尽量接近),注意要保持读数的符号与光栅尺的符号一致;
④当两个光学元件放在***接近的位置时,设置一个与激光干涉仪读数相等的预选值;
⑤在这个相同位置上重新设置零点,其值为预选值。
激光干涉仪的用途:直线度测量
激光干涉仪的直线度测量有两个镜组:测量短程从0.1m至4m及测量长程从1m至30m。就短程而言,距离指的是直线度干涉镜和直线度反射镜之间的距离,合肥激光干涉仪,即可被测试的轴长。就长程而言,距离指的是激光头和直线度反射镜之间的距离。这两种情况下,激光干涉仪直线度测量的量程都是±2.5mm。直线度干涉镜和反射镜互相匹配成对。因此,激光干涉仪厂家电话,不能与其它直线度工具交换要件。每一个直线度干涉镜和反射镜都标明***的序号。
激光干涉仪的原理:
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上,形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动,形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束具有单一频率,标称波长为633nm,长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光——反射光束和透射光束。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,激光干涉仪哪个品牌好,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化,探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化,每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化(条纹)被数出来,用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
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