设计特点
· 压电式控制阀
· 金属密封结构
· 响应时间快
· 设计紧凑
· 316L/316SS不锈钢结构
· 高精度达&plu***n; 1％
P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、***控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。独特的热式测量系统提供***的测量，同时液体温度上升小于5度。***的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。
D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、***控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。独特的层流旁路和传感器部件提供***的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
· 压电式控制阀
· 金属密封结构
· 响应时间快
· 设计紧凑
· 316L/316SS不锈钢结构
· 高精度达&plu***n; 1％
P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、***控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。独特的热式测量系统提供***的测量，同时液体温度上升小于5度。***的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体 进行 快速、稳定的控制。 P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。
D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、***控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。独特的层流旁路和传感器部件提供***的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
液体流量计和控制器技术参数
流量范围 ： P2000i系列和D2000i系列液体流量控制器是以***（IPA）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一
响应时间 ： P2000i系列 ： 2s（ 设定点的2％之内 ）
D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之内 ）
精度和线性 ：&plu***n; 1％满量程（P2000i系列）；&plu***n;1％读数（D2000i系列）
重复性 ： P2000i系列：＜&plu***n;0.2％满量程（任意连续温度下）
D2000i系列：＜&plu***n;0.2％读数
量程比： P2000i系列：50：1（2％-100％满量程）
D2000i系列：20：1（5％-100％满量程）
***大操作温度 ： 40℃（104℉）
***大操作压力： 125PSIG
温度系数 ：＜ 0.1％/℃
>设定点输入 /流量输出信号 ： 0-5VDC/0-5VDC（输出流量信号时：需***小2KΩ电阻）
供电电源 ：﹢ 15VDC&plu***n;10％（电流消耗＜200mADC时）
***率 ： 1х10 -9 /s He
预热时间： 10分钟（P2000i系列）；20分钟（D2000i系列）
电气连接 ： 9针D型
入口 /出口过程连接 ： 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制阀 ：压电式常开
内置容积 ：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）
重 量 ：≤ 0.68Kg
结构材质
主体： 316LSS
传感器组件 ： 316LSS
阀构成部件 ： 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）
“ O”型环：316LSS