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高纯氮气主要用于电子工业，在集成电路、芯片（晶片）和相关元器件的生产过程中，高纯氮气与普通氮气相比，对以下条件有严格要求，目前一般要求总杂质含量集成电路要求：4ppm，芯片要求：1ppm或者更高，同时设计电子工业用高纯氮装置时，要重视装置所在大气组成的测定，南昌标准气体，且设计一定要留有余量。其难点和要点主要是***、氢和水分的达标，为此，要采取不同的净除方法：（1）CO的净除：利用压缩机的压缩热，在触媒的帮助下，通过催化反应，除去***，可以使产品中所含CO降低到0.1ppm以下。（2）CO2的净除：通过分子筛床层吸附。（3）氢气等低沸点组分的净除：氢气，氦***气都是沸点比氮气低的组分，在***转化炉中，空气中的氢气生成水，然后从冷凝蒸发器排出不凝气体，放空以使低沸点组分除去，但是其纯度仍然不够，仍需要通过特殊流程***比如采用加设纯氮精馏辅塔，在液氮顶部设置冷凝器，工业标准气体厂家，底部设置再沸器，增大循环倍率来除去低沸点的氢气等杂质。4）***等高沸点组分的净除：***等烃类气体以及***氙等稀有气体的沸点比氮气高得多，它们会全部浓缩到塔底的富氧液空中，达标没有问题。（5）水分的净除：通过分子筛床层吸附，同时水分有很高的沸点，达到要求没问题。（6）颗粒度：通过精密过滤器来满足。

氦气的注意事项：本品属不燃气体危规编号：(液化的)。氦气为惰性气体，高浓度时可使氧分压降低而有窒息***。当空气中氦浓度***时患者先出现呼吸加快、注意力不集中和共济失调；继之出现疲倦无力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以致***。液体氦与皮肤接触能引起严重受伤。用6m3钢瓶或2L玻璃瓶包装。玻璃瓶外加木箱或纸箱保护。贮存于阴凉、干燥的库房中。可按普通货物运输。装卸时轻拿轻放，防止包装破损。***时可用水和各种灭火器扑救。