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低温泵对不锈钢制造的超高的超高真空泵容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度，4.2K的
低温泵，里其乐真空泵VTN16，可得到10*10~10*12Pa的真空度。
低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染，在超高真空范围，低温泵是
可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。
超高真空机组主要用于表面研究、热核反应、高能加l速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。由于
这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展，目前超高真空实用真空度已达10-12Pa
。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的***l大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，里其乐真空泵VTN16零售，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的***偏向电动机和齿轮箱一侧。
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里其乐真空泵散热油管
超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加l速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。目前超高
真空实用真空度可达10-12Pa。
超高真空系统都是根据工艺要求由用户自行设计或委托制造厂商特殊厂商特殊加工制造的，很难买到适
合用户要求的成套超高真空机组。超高真空系统的选泵、选材、选阀门和选密封结构等要求严格；焊接
加工结构和方法与常规不同；要求漏气率和放气漏比普通真空系统要低；抽真空时还要采用烘烤措施等
。
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