可燃物在废气催化燃烧设备作用下燃烧。与直接燃烧相比，废气催化燃烧设备温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的***和金属氧化物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提高热效率。负载0.2%pt的氧化铝催化剂，在500℃下，可将大多数有机化合物燃烧。废气催化燃烧设备为无焰燃烧，因此适用于安全性要求高的场合，如以H2和O2为原料的燃料电池、用酒精为原料的怀炉等。如消除化工厂NOx的烟雾，可加燃料到烟雾中，通过负载型铂和钯催化剂，催化燃烧使NOx转化为N2气。
主要工艺流程分为：吸附阶段、脱附阶段、间歇淋水阶段、冷却干燥阶段、分层分离阶段、计量回收阶段；根据不同废气工况通常增设不同的预处理工艺。RTO、RCO、CO高温氧化有机废气处理工艺。该工艺占地面积小、高浓度时能耗低、***少、处理效率高、运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作。
主要针对成分复杂、无回收经济价值、VOCs浓度高的有机废气；经过一级处理后，有机废气净化效率高达98%以上；无污染物转移，无二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；根据不同工况可做余热回收利用。吸附浓缩 高温催化氧化有机废气处理工艺。废气催化燃烧设备工艺占地面积小、能耗低、及运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作；主要针对成分复杂、无回收经济价值、有机废气浓度低的废气；经过处理后，废气催化燃烧设备净化效率高达95%以上；无污染物转移，没有二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；该工艺根据不同有机废气成分选用不用的吸附剂，通常选用蜂窝活性炭、碳纤维、颗粒活性炭、分子筛等。
离子氧化法废气处理工艺。低温等离子法系通过低温下高压放电从而电离空气产生继固、液、气之后第四种状态即等离子态，废气催化燃烧设备状态具有高度活泼及氧化性，对废气中气态污染物进行氧化分解从而去除。废气催化燃烧设备根据产生离子、氧化分子及自由基的原理不同，可分为电晕放电等离子系统、介质阻挡等离子系统。离子法氧化工艺具有占地面积小、能耗低、***少及运营管理简便、全智能控制、无需***人员操作等特点。
