激光干涉仪的用途:沿水平轴直线度测量
水平轴直线度检测,将直线度干涉镜安装在激光干涉仪的激光器和直线度反射镜之间。激光器发射出来的光束将穿过直线度干涉镜,高精度激光干涉仪多少钱,此时,光束将被分成两束相同频率的光源,通过直线度反射镜,将两束激光反射汇聚到干涉镜,在返回激光器。通过移动直线度反射镜,两束相同光源的光将会发生干涉。激光器将检测干涉的光波,来确定在直线度干涉镜移动的方向上,会产生多少大的偏差。并记录下偏差值,以供设备安装调试使用。
激光干涉仪工作原理
激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至***标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,安庆激光干涉仪,在高1端制造领域应用广泛。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、***1高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,激光干涉仪价格多少钱,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
激光干涉仪产品功能特点
测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,激光干涉仪哪家好,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性***精度、重复***精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。
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