激光干涉仪厂商-激光干涉仪-合肥迈思瑞激光干涉仪

激光干涉仪的用途：线性测量

激光干涉仪的线性测量可以检测机床轴的多项精度指标，激光干涉仪，其中包括***精度、重复***精度、反向间隙等。用于线性测量的镜组包括两个线性反射镜和一个线性分光镜。

激光干涉仪要设置线性测量，将一个线性反射镜连接到具有两个紧螺纹的分光镜上。这个组合要件被称为“线性干涉镜”，可以作为激光束的参考路径。线性干涉镜位于激光器和线性反射镜之间的光束路径，激光器的光束会射入线性干涉镜，再分为两道光束。一道光束(称为参考光束)射向连接分光镜的反射镜，激光干涉仪厂商，而第二道光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜。这两道光束回再反射回分光镜，激光干涉仪厂家哪个好，重新汇聚之后返回激光头，其中会有一个探测器监控两道光束间的干涉。

激光干涉仪的校准与精度验证?

激光干涉仪在购置投入使用前应进行关键性能的验证。且随着使用年限的增加，激光干涉仪（包括环境补偿系统）的性能可能会因老化或使用不当出现***，对测量精度造成影响。因此需要定期对激光干涉仪测量系统的关键性能参数进行校准，以确保在精密测量应用中获得准确的数据结果。根据***计量检定规程的要求，需要对激光干涉仪激光频率、测距误差、测角误差、环境补偿传感器进行定期校准。

激光干涉仪的原理：

一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。

从激光头射出的激光光束具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束和透射光束。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，激光干涉仪供应商，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。

如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。

如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。