主要工艺流程分为：吸附阶段、脱附阶段、间歇淋水阶段、冷却干燥阶段、分层分离阶段、计量回收阶段；根据不同废气工况通常增设不同的预处理工艺。RTO、RCO、CO高温氧化有机废气处理工艺。该工艺占地面积小、高浓度时能耗低、***少、处理效率高、运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作。
主要针对成分复杂、无回收经济价值、VOCs浓度高的有机废气；经过一级处理后，有机废气净化效率高达98%以上；无污染物转移，无二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；根据不同工况可做余热回收利用。吸附浓缩 高温催化氧化有机废气处理工艺。催化净化设备工艺占地面积小、能耗低、及运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作；主要针对成分复杂、无回收经济价值、有机废气浓度低的废气；经过处理后，催化净化设备净化效率高达95%以上；无污染物转移，没有二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；该工艺根据不同有机废气成分选用不用的吸附剂，通常选用蜂窝活性炭、碳纤维、颗粒活性炭、分子筛等。
采用适当的催化净化设备，使***气体中的可燃物质在较低的温度下分解、氧化的燃烧方法。
催化燃烧法的关键因素是催化剂的选择。已有多种可供选择的催化剂:按其活性分，有钯、铂、稀土和过渡金属氧化物催化净化设备;按其形状分，有无定形颗粒状、球形颗粒状、整体蜂窝状、网状、丝蓬状和透气板状等多种形式的催化剂。催化净化设备的载体一般以氧化铝和陶瓷为多，此外还有天然沸石、镍铬丝和不锈钢丝等。
直接燃烧法所用的燃烧设备可以是工业用和民用燃烧炉，如锅炉或家庭炉灶；也可以是专用的火炬燃烧器。当将尾气作为民用炉灶燃料时，必须配置尾气气柜，以保持尾气产生量与处理量之间的平衡。当采用火炬燃烧器处理有机废气时，火炬燃烧器应专门设计，以保证在有机废气气量或有机物发生波动时，火炬燃烧器都能将废气中有机物基本燃烧完全。
