西门子锥体真空泵供应-淄博鑫诚-四川西门子锥体真空泵

7、检查真空泵管路及分离处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵能否灵敏。 8、向轴承体内参加轴承光滑机油，西门子锥体真空泵供应，察看油位应在油标的中心线处，光滑油应及时改换或补充。 9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。 10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。 11、点动电机，试看电机转向能否正确。 12、开动电机，当真空泵正常运转后，翻开出口压力表和进口真空泵，视其显现出恰当压力后，逐步翻开闸阀，

同时检查电机负荷状况。 13、尽量控制循环水真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在效率点运转，才干取得***的节能效果。 14、真空泵在运转过程中，轴承温度不能超越环境温度35c，四川西门子锥体真空泵，温度不得超越80c 。

分子泵 分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都采用复合分

子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，西门子锥体真空泵销售，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步

抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其

他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜安装上应用，既进步了消费效率又改善了膜层质量。随着中

国半导体工业、薄膜产业和科学研讨事业疾速开展，分子泵应该是中国真空泵制造业开展的***。首先，分子泵

要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场所的需求。

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强请求。如：真空镀膜请求110-5mmHg的真空度，选

用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强

范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此，泵的工作点应该选在这个范

围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵能够在 10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-

5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。