特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，电子特种气体，根据不同气体的生产工艺和用途，特种气体厂，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中，特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，特种气体公司，包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类，可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、***研究及诊断等多个领域。
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特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。
1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
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