这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有酸、氮气、压缩空气、纯水，热排风和废水。氢能够溶解二氧化硅是因与二氧化硅反应生成易挥发的四气体。若氢酸过量，反应生成的四会进
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该工艺用于太阳能电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，
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硅片是太阳能电池片的载体，库存电池板回收，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅本
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