就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的***小值。
世豪电力公司认为，用卤素检漏仪这种方法可检Minimum漏率为10-3～10-4帕·升/秒的漏气。氦质谱检漏 ***常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，公司为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。
西安世豪电力科技有限公司与大家分享：超声波査漏法：我们目前水冷机组采用氦质谱査漏，空冷机组采用氦质谱及超声波结合査漏。公司觉得，超声波主要针对空冷岛高处，及水冷机组凝汽器水室铜管钛管的査漏。厂家可以定点***省去了爬高上低搭设脚手架的麻烦。所以目前来说两种设备结合才能更细致更accurate的査漏。欢迎大家来电咨询。
