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干式真空泵的应用主要有以下几个方面：低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，真空泵哪家好，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止***造成污染，适合用干式真空泵。用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，真空泵生产厂家，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，真空泵公司，分子泵要从小到大建立完整系列，辽源真空泵，以满足不同场合的需要。

定期冲洗泵体水环式真空泵的泵体排水闸阀，除了用于正常排出泵内积水外，还可在运行过程中利用泵体运转的水压定期冲洗泵内污垢和水渣，一方面可以防止污垢积存，另一方而还可以防止水渣转化为水垢。 真空泵的结垢问题有其较为复杂的生成机理，正确分析水质指标和运行参数是找出正确防范措施的关键。除了水温控制和定期冲洗泵体外，水处理是防止泵体结垢的***重要环节。