激光干涉仪工作原理
***效应(Doppler Effect): 任何形式的波传播,都是由于波源、传播介质或中间反射器的运动,会使频率发生变化的现象。这种因***效应所引起的频率变化称为***偏移或频移(Doppler Shift), 其频移大小与介质、波源和观察物的运动有关。如图 2 所示,XL 激光头射出的频率为 f0, 经过反射镜反射回来到激光头内的探测器,当反射镜不动时,其反射波频率 fr= f0。当反射镜以 v=dx/ dt的速度沿线性轴远离或者靠近激光头时,因为光程增加或减少了 2vt,反射波 fr的数值会减少或增加 2v /λ0,维修,λ0为激光波长。
可能存在的原因主要有以下 3点:
(1)数控机床反向间隙未补偿或补偿不当。(2)数控机床Z 坐标丝杆螺母与滑枕之间的连接出现间隙或者松动。
(3)丝杆两端背帽有松动。针对可能存在的原因,对该机床进行检查,首先对该机床进行反向间隙补偿,补偿后再用激光干涉仪进行检查,仍然发现去程和回程两次测试之间具有一个固定的偏移值,说明该机床在机械上确实存在松动或者间隙。
于是检查Z 坐标丝杆螺母与滑枕之间的连接,看是否出现间隙或松动,也没有发现问题。用百分表检查丝杆窜动,机床设备维修,发现表指针有 0.15 左右的摆动,说明丝杆在运行过程存在问题,检查丝杆背帽,发现丝杆背帽松动,重新锁紧丝杆背帽,数控机床维修,用激光干涉仪进行检查、补偿.
一台FANUC 0i数控车床,开机后不久出现ALM701报警。从维修说明书解释内容为控制部上部的风扇过热,打开机床电气柜,检查风扇电机不动作,检查风扇电源正常,磨床维修,可判定风扇损坏,因一时购买不到同类型风扇,即先将参数RRM8901#0改为“1”先释放ALM701报警,然后在强制冷风冷却,待风扇购到后,再将PRM8901改为“0”。
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