为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,鼠笼式导电辊厂家,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布:通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,鼠笼式导电辊多少钱,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。






靶材***:为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。
靶材储存:我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真***装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议***少需要包装在洁净的塑料袋中。
在循环氧化测试中铂铝涂层具有很高的膜剥落性。研究数种涂层在高温(900℃)下的抗热腐蚀性能,铂铝涂层是***耐蚀的铝化物涂层,几乎与这种特别为抗高温热腐蚀而设计的CoCrAlY涂层一样耐蚀。各涂层的耐高温腐蚀性由低到高进行排序为:简单铝化物,鼠笼式导电辊,镀铂,镀铂铼,铂铝涂层。铂铝涂层具有独特的耐氧化膜剥落和抗热腐蚀特性。
一般来讲,预镀Pt层厚约10μm,涂层制备成本较高。现在人们正试图以钯、铱和铑等其它铂族或更便宜的金属取代铂,以获得性能优异、价格适中的涂层。
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