激光干涉仪为什么要越程量？
软件记录第1个***点数值为0，激光干涉仪，然后到达下一个***点时停止运动，记录完数值继续向前运动，直到记录完***终***点数值后，此时位移平台需要继续往前位移到设置好的越程量数值，比如***终***点为21mm，那么加上越程量以后是21.081mm，工业激光干涉仪品牌，此时再测量返程***点的数值，当位移到21mm***点时再次停止运动，测量软件记录下数值后，继续位移测量回程***点的数值，直到记录完第1***点数值后停止位移，测量软件同步计算出在测量范围内，平台线性位移产生的误差，测量结果以数据表格、趋势图、分析曲线、三合曲线、环境曲线的形式展现，让操作人员对测量结果一目了然。
如何正确运用激光干涉仪
1、负坡度
负坡度曲线向外运行和向内运行两个测试均出现向下的坡度。在整个轴线长度上，误差呈线性负增加，这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。出现负坡度的可能原因有以下两种：(1)光束准直调整不正确。如果轴线短于1m则可能是材料热膨胀补偿系数不正确、材料温度测量不正确或者波长补偿不正确。(2)俯仰和扭摆造成阿贝偏置误差、机床线性误差。
2、正坡度
正坡度曲线是指在整个轴线长度上，误差呈线性正递增。这种现象的产生有以下可能：(1)材料热膨胀补偿系数不正确、材料温度测量不正确或者波长补偿不正确。(2)俯仰和扭摆造成阿贝偏置误差、机床的线性误差。
3、周期性曲线
周期性曲线是整个轴线长度上的重复周期误差。沿轴的俯仰保持不变，但幅度可能变化。导致周期性曲线的可能原因主要是机床方面的问题，如丝杠或传动系统故障、编码器问题或故障、长型门式机床轨道的轴线直线度。
4、偏移
偏移是指去程和回程两次测试之间具有不变的垂直偏移。产生偏移曲线的可能原因主要是机床方面的问题，如反向间隙未补偿或不当补偿、车架与导轨之间存在间隙(松动)等。
5、燕尾状
在去程测试中出现向下的坡度的情况，回程测试为去程测试的镜像，去程和回程测试之间的偏差(或滞后或反向间隙)随轴线离开受驱动端而逐渐提高。产生燕尾状的可能原因主要是机床方面的问题，如滚珠丝杠扭转、导轨太紧、使用的误差补偿值不正确等。
6、正反向交叉线
正反向交叉线是指正向(向外)运行产生负坡度，而反向(向内)运行则产生正坡度。这是丝杠扭转的一个特殊例子，激光干涉仪哪个品牌好，其中，单向线性误差补偿和单反向值已在控制器中设置。
双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用
（1）双频激光干涉测角
双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，双频激光干涉仪价格，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的***频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″
(2) 双频激光干涉仪测直线度误差
双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。
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