JPG全自动控制晶体提拉生长炉的***大特点是它的控制系统和控制软件。同时它的硬件设计,包括称重室、提拉装置、以及炉体本身也都有自己的特点。
- 控制软件:JPG等径控制软件具有:实用、可靠、易操作等特点。其改良后的PID公式使控制更加稳定,参数易于调节。***的信号过滤系统使输入信号噪音比其它同类软件低一个数量级。晶体形状辅助设计工具可以随意设计晶体形状,尤其是扩肩形状的***控制,对高质量、高成功率晶体生长至为重要。为晶体开发和生产提供了很大的灵活性。晶体生长过程中各种数据可以随意交叉分析和作曲线图。
JPG等径控制软件在美国和中国都有很好的销售记录和质量、服务信誉。
- 控制系统:控制系统是与软件相配的硬件部分。感应加***圈的功率控制由欧陆2000系列完成。它除了具有欧陆818P的所有优点外,有更强的通讯功能,传输的数据精度更高。称重传感器和放大器均采用美国或德国的进口件。具有较高的灵敏度和较小的温度漂移。运动部分采用步进电机和细分步进驱动器。细分步数可达每转25000步(脉冲)。
- 晶体炉和提拉装置:晶体炉本身是为大尺寸晶体生长设计的。对于700型晶体炉,感应加***圈的***大尺寸可达直径400 mm,高400 mm。它可以在低真空+气体保护下工作或流动保护气体下工作。