绿意环保(图)-电子厂废气处理-江门废气处理

由于我国工业的发展，工业废气逐渐严重，电子厂废气处理，大气污染也变成了一个棘手的问题，我们应该怎么做呢？下面就为您仔细介绍一下工业废气处理设备的处理方法：工业废气处理设备，有机废气处理设备，光氧化设备

　　1、稀释扩散法

　　原理：将有臭味地气体通过烟囱排至大气，或用无臭空气稀释，降低恶臭物质浓度以减少臭味。优点：费用低、设备简单。

　　2、水吸收法

　　原理：工业废气处理设备是利用臭气中某些物质易溶于水的特性，使臭气成分直接与水接触，从而溶解于水达到脱臭目的。优点：工艺简单，管理方便，设备运转费用低产生二次污染，需对洗涤液进行处理。缺点：净化效率低，应与其他技术联合使用，对硫醇，脂肪酸等处理效果差。

　　3、曝气式活性污泥脱臭法

　　原理：将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质适用范围广。优点：活性污泥经过驯化后，对不超过极限负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。

　　4、多介质催化氧化工艺

　　原理：反应塔内装填特l制的固态填料，珠三角废气处理，填料内部复配多介质催化剂。当恶臭气体在引风机的作用下穿过填料层，工业废气处理设备通过特l制喷嘴呈发散雾状喷出的液相复配氧化剂在固相填料表面充分接触，废气处理公司，并在多介质催化剂的催化作用下，恶臭气体中的污染因子被充分分解。优点：占地小，***低，运行成本低；管理方便，即开即用。

　　5、低温等离子体

　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。工业废气处理设备的低温等离子体降解污染物法其实就是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

　　低温等离子体空气净化设备能够显着治理的污染有：VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒l杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染。

　　目前，工业废气处理设备是有效处理工业废气的产品，已在工业中普及开来。

吸附-回收法

该法利用纤维活性炭或颗粒炭等吸附剂吸附有机废气，吸附接近饱和后用过热水蒸汽反吹活性炭进行脱附解析，水蒸汽与脱附出来的有机气体经冷凝形成有机的溶剂，在油水分离器中自动进行分离，以回收有机的溶剂。

该工艺适用于对中、高浓度，中、小风量，有回收价值的废气进行治理。若排放的有机气体组份单一，回收得到的有机的溶剂可满足于工业生产需求，既解决了环境问题，又为企业创造了经济价值。若有机气体成份复杂，回收后不能直接用于生产，需要再进行精馏、萃取、分离等后继工作，不但造成二次污染，有机废气处理，而且大大大增加了治理成本。

新型吸附-催化燃烧法

应用新型活性炭（多为蜂窝炭或纤维炭）吸附浓缩低浓度的有机废气，吸附接近饱和后引入热空气加热活性炭，使有机废气脱附出来进入催化燃烧床进行无焰燃烧净化处理，热气体在系统中循环使用或增设二级换热器进行热能回收。该法将低浓度的有机废气通过活性炭将其浓缩成高浓度的有机废气再通过催化燃烧床将其彻底净化。该法吸取了吸附法和催化燃烧法的优点，克服了各自单独使用的缺点，解决了治理低浓度、大风量有机废气存在的难题，是目前国内治理有机废气的成熟、实用的方法。

概况-集成电路的工艺废气主要分为6大类：

(1)酸性废气：来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序，主要污染物为氟化物、HCl、氮氧化物、***雾等。

(2)碱性废气：来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH。

(3)有机废气：来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用化学溶剂清洗的过程，主要成份为IPA、光刻胶等有机物。

(4)含尘废气：来源于CVD工艺排气，主要污染物为粉尘(SiO2)。

(5)工艺尾气：来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如磷烷、B2H6等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放。

(6)热无处理废气：来源于扩散等工序中的热气排放，直接排人大气。