激光干涉仪的用途
激光干涉仪的直线度测量有两个镜组：测量短程从0.1m至4m及测量长程从1m至30m。
沿水平轴直线度测量：水平轴直线度检测，将直线度干涉镜安装在激光干涉仪的激光器和直线度反射镜之间。激光器发射出来的光束将穿过直线度干涉镜，激光干涉仪供应商，此时，光束将被分成两束相同频率的光源，通过直线度反射镜，将两束激光反射汇聚到干涉镜，在返回激光器。
沿垂直轴直线度测量：垂直轴直线度检测，将引入垂直转向镜，将激光干涉仪水平光束转换成垂直光束，检测原理与水平轴直线度检测相同。
激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
一、 环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度（或者说环境的稳定程度）。环境温度每产生1℃的变化，绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时，都将会导致约1PPM（百万分子一）的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。
二、 机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠***滑鞍的机床，丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃，即温度每升高1℃，他将膨胀近10.8微米/米。
引起激光干涉仪测量误差的部分原因：
环境因素：环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。
同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，激光干涉仪什么牌子好，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，滁州激光干涉仪，从而增大测量误差。
正确方式：在线性测量中，需要开启环境补偿单元，并正确设置补偿材料的种类，放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中，需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。
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