在半导体制造过程中涉及的材料众多,在半导体集成电路的生产过程中,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体,因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。半导体特种气体的下游是半导体晶圆制造厂商,特种气体生产厂家,***终下游市场是智能手机、平板电脑、物联网、人工智能硬件等构成的电子产品市场。近年来,除了以智能手机、平板电脑为代表的新兴智能电子产品带来的巨大的出货量,更加前沿的高科技领域如物联网和人工智能越来越成为主流趋势。
电子气体行业的主要技术壁垒包括:
(1)提纯技术难度大。电子气体纯度往往要求(5N-6N)级别,而金属离子要求10-9~10-12级。 气体纯化技术主要有吸附法、精馏法、膜分离法,特种气体价格,其中精馏法应用***为广泛。精馏法可分为连续精馏法和间歇精馏法,连续精馏法操作稳定,并且得到的气体产品纯度较高,质量好。吸附法分为变压吸附法和变温吸附法,与变压吸附法相比,变温吸附法能耗较高、吸附量小,再生需要加热介质,吸附剂寿命较短。膜分离法为一种新型的高分离、浓缩提纯及净化技术。
(2)气体输送,赣州特种气体,充装,和储运。超高纯电子气体的生产和使用需要高质量的钢瓶等储运容器,对气体输送管线、阀门和接口要求十分严格,以避免二次污染。随着气体纯度的提高、产品种类的增多,对包装容器的要求也越来越高,特种气体销售,
(3)分析检测与质量控制。超高纯电子气需要对ppm(10-6)至ppb(10-9)级别的杂质进行分析,金属离子更是要求检测线达到ppb(10-9)至ppt(10-12)。
1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
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