在半导体制造业中,特种气体销售,可以把气体分成大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,扩散等过程中使用的各种化学气体,特种气体厂,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,从芯片生长到***后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
电子特种气体种类多样行业集中度高,细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年***半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元,同比增长 5.7%;国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元,重庆特种气体,预计到 2020 年将突破 68 亿元。电子特种气体行业集中度高,以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司占有*** 90%以上的电子特种气体市场份额。
特种气体产品供应***有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等,这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩,电子特种气体,形成产业化的还很少,使得绝大多数产品仍然依赖进口。在***“863”项目的支持下,公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上,可以替代进口产品,应用在氮化jia生产中。
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