电子工业用气体统称电子气体,指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体,供应特种气体厂家,是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料,其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业。
近年来,随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展,对电子气体的纯度和一致性要求越来越高,除了应具有5 N (99.999%)以上纯度,还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级,气体的品质要求高度稳定且一致。
半导体器件性能的好坏,在很大程度上取决于所用电子气体的质量,电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地1推动半导体器件质的飞跃,正因如此,发达***都在积极发展具有自主知识产权的电子化学气体,并且取得了明显的效果,由于电子气体质量决定着ic技术的发展,而半导体器件又广泛地应用于民用和军1工领域,且发展势头强劲,特种气体哪家好,它影响到国民经济和国防的许多方面,因此,有关电子气体的生产、净化、包装、分析等在国际上多属高度保密的技术。同光电子、微电子工业一样,我国电子气体的研究与生产起步较晚,资金投入量也显得相对不足。改革开放以来,南昌特种气体,中国***已将ic产业列为******发展的支柱产业,因此,电子工业、光电子产业、光纤制造业发展迅猛。
特种气体是光电子、微电子等领域。特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。
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