什么是能量色散X射线荧光光谱仪
能量色散X射线荧光光谱仪由X射线光管、样品室、准直器、探测器及技术电路和计算机组成。此外，亦可在样品前加一单色器，达到降低背景的目的，以改善色散X射线荧光光谱仪的检出限。它与波长色散X射线荧光光谱仪的显著不同是分光晶体，ROHS检测仪，而是直接用能量探测器来分辨特征谱线，达到定性和定量分析的目的。
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能量色散和波长色散X荧光光谱仪的区别
扫描电镜束流小，电子探针能谱分析结果比扫描电镜能谱准确一个数量级，电子探针元素面扫描可以用能谱，也可以用波谱，一般对轻元素（C以下），波谱较准确，相对来说波谱扫描时间较长，一般定性及半定量基本用能谱。
X射线光谱仪散射原理
X射线光谱仪除光电吸收外，人射光子还可与原子碰撞，在各个方向上发生散射。x射线与物质的散射是由于x射线光谱仪与电子的相互作用而产生。散射作用分为两种，即相干散射和非相干散射。如果被散射光子能量与人射光子能量相同，则称为相干散射或弹性散射，相干散射又称为瑞利散射，没有能量损失。如果出现能量变化或损失，则为非相千散射，也称为康普顿散射。相干散射与光干涉现象相互作用的结果可产生x射线光谱仪衍射。
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