高纯气体输送及储运也是影响电子气体质量的关键因素。超高纯气体的生产和应用要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，要求相应器件耐高压、耐高真空，对于腐蚀性气体要求耐腐蚀，以避免二次污染的发生。随着气体纯度的提高、产品种类的增多，特种气体厂家***，对包装容器的要求也越来越高，对于气瓶内壁处理技术以及气密性好无污染的阀门、减压器、过滤器等的研制提出了较高要求。
特种气体产品供应***有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等，这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩，形成产业化的还很少，使得绝大多数产品仍然依赖进口。在***“863”项目的支持下，电子气特种气体，公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上，可以替代进口产品，应用在氮化jia生产中。
高纯气体(High Purity Gases)气体是工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦，ya而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，上海特种气体，氢，特种气体供应，ya，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。
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