CCQ-型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
|
适用范围（Pa） |
10∧5~1.3×10ˉ7 |
|
阀门漏率（Pa.L/S） |
DN≤200为≤1.3×10ˉ7 DN≥250为≤6.7×10ˉ7 |
|
阀门烘烤温度（℃） |
≤150（除传动装置外） |
|
开阀时阀板两侧压力差（Pa） |
≤2.7×10∧3 |
|
起源压力（MPa） |
0.4~0.6 |
|
电源压力 |
标准出厂：AC220V/50Hz 特殊指定：AC110V;DC24;DC12V等 |
|
信号反馈 |
标准出厂：不带反馈信号 特殊指定：磁性开关DC/AC5~240V |