CCQ-型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
|
适用范围（Pa）
|
10∧5~1.3×10ˉ7
|
|
阀门漏率（Pa.L/S）
|
DN≤200为≤1.3×10ˉ7
DN≥250为≤6.7×10ˉ7
|
|
阀门烘烤温度（℃）
|
≤150（除传动装置外）
|
|
开阀时阀板两侧压力差（Pa）
|
≤2.7×10∧3
|
|
起源压力（MPa）
|
0.4~0.6
|
|
电源压力
|
标准出厂：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V;DC24;DC12V等
|
|
信号反馈
|
标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：磁性开关DC/AC5~240V
|