氦质普检漏仪检漏原理:
氦质谱检漏是在质谱室中将气体电离，利用不同荷质比的离子具有不同电磁特性的特点而将示踪气体分离,检测并加以显示的新技术。
真空检漏方法及步骤:
1) 测点布置：检测真空系统设备时将仪器吸枪布置在真空泵排大气管口处。
2) 校准仪表：检测前、仪器校准，使仪器归零，否则测试无效。
3) 检漏漏点：架设好仪器.然后在真空系统可能存在漏点位置逐一喷射氦气，根据仪器的变化情况分析判断漏点的大小，工作人员进行逐一记录。
气泡检漏法在实际应用中可分为水槽检漏法与皂膜法。水槽检漏法，即是将被检件充入气体后置于清洁的水槽中进行检测；而皂膜法则是用于当被检件尺寸较大无法置于水槽中检测时，改用肥皂液涂抹于ke疑处，一旦有漏孔就会在漏孔处出现肥皂泡。
真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要特别注意安全。
铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示，仪表还设有扬声器，当探出漏孔时，仪器便发出声音。
