罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作范围
的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。
罗茨真空泵的优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独运用，必需有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才干开端工作，并且在
普通状况下，罗茨真空泵不允许高压差工作，否则将会过载和过热而损坏，因而运用罗茨真空泵必需合理地选用
（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流作为工作介质的***真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度不断是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经特地的机械保送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，天津两级椎体真空泵，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。（4） 扩散***泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有***真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种方式。（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，保送到出口的一种动量传输泵。
1.1、罗茨水环真空机组类型(1)罗茨泵-水环泵。机组中水环泵的作用是形成罗茨泵所需的准备真空，正常情况，两级椎体真空泵经销，单级水环泵极限真空度不高，而
眼前我国消费的罗茨泵务求的预真空又较高，故理论上正常不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用极限压力较
低的双级水环泵作为前级泵运用，还可以升高机组的极限压力。1台罗茨泵与1台水环泵的极限压力是400Pa，可满足
正常的真空需求，两级椎体真空泵生产厂家，但在物理精炼工艺中遭到定然限制，若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合(见图2)，就能大大提高
机组的极限压力
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