双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。
在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束，另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，激光干涉仪定制，Δf是可动反射镜移动时因***效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(***效应是奥地利人C.J.***提出的，安庆激光干涉仪，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片 2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整1形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，激光干涉仪厂商，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
国内双频激光干涉仪生产企业主要有北京镭测科技有限公司，该公司的产品技术和工作人员主要来自于清华大学精密测试技术及仪器******实验室，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。
激光干涉仪为什么要越程量？
软件记录第1个***点数值为0，激光干涉仪经销商，然后到达下一个***点时停止运动，记录完数值继续向前运动，直到记录完***终***点数值后，此时位移平台需要继续往前位移到设置好的越程量数值，比如***终***点为21mm，那么加上越程量以后是21.081mm，此时再测量返程***点的数值，当位移到21mm***点时再次停止运动，测量软件记录下数值后，继续位移测量回程***点的数值，直到记录完第1***点数值后停止位移，测量软件同步计算出在测量范围内，平台线性位移产生的误差，测量结果以数据表格、趋势图、分析曲线、三合曲线、环境曲线的形式展现，让操作人员对测量结果一目了然。
SJ6000激光干涉仪优点
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、***1高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。
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