净化设备-无锡谷能净化科技-微电子净化设备

采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，净化设备，产生电晕放电，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，光学净化设备，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后释放电荷。

无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。

1）手提式压力蒸汽灭菌器灭菌方法：

①在主体内加入适量的清水，将灭菌物品放入灭菌器内；

②将顶盖上的排气软管插入内壁的方管中，盖好并拧紧顶盖；

③将灭菌器的热源打开，开启排气阀排完空气后(约在水沸腾后10min～15min)关闭排气阀；

④压力升至102.9kPa(1.05kg/cm2)，温度达121℃时，维持到规定时间(根据物品性质及有关情况确定，一般20min～30min)；

⑤需要干燥的物品，微电子净化设备，打开排气阀，慢慢放汽，待压力***到零位后开盖取物；

⑥液体类物品，待压力***到零位，自然冷却到60℃以下，再开盖取物。