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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，里其乐真空泵VC50销售，或者把油蒸气排到室外。
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Eimo Rietschle 里其乐真空泵
低温泵抽气系统
低温泵对不锈钢制造的超高真空容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度，4.2K的低温泵，
可得到10-10~10-12Pa的真空度。
低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染。在超高真空范围，里其乐真空泵VC50批发，低温泵是
可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。
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里其乐Rietschle真空泵：VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40
涡轮分子泵内表面积大，烘烤出气是非常必要的。由于结构限制，一般只允许烘烤到足够大的抽速，使
涡轮分子泵转速达到额定转数的75%时，就能将真空室抽到20~200Pa。一般涡轮分子泵的加速时间为
5~10min，这意味着机械泵排气时间必须小于这个范围。
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