激光干涉仪的用途:直线度测量
激光干涉仪的直线度测量有两个镜组:测量短程从0.1m至4m及测量长程从1m至30m。就短程而言,距离指的是直线度干涉镜和直线度反射镜之间的距离,高精度激光干涉仪价格,即可被测试的轴长。就长程而言,距离指的是激光头和直线度反射镜之间的距离。这两种情况下,高精度激光干涉仪厂家,激光干涉仪直线度测量的量程都是±2.5mm。直线度干涉镜和反射镜互相匹配成对。因此,不能与其它直线度工具交换要件。每一个直线度干涉镜和反射镜都标明***的序号。


激光干涉仪的原理:
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上,形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动,形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束具有单一频率,标称波长为633nm,长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光——反射光束和透射光束。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化,探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化,每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化(条纹)被数出来,滁州激光干涉仪,用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。


激光干涉仪环境因素的影响
一、影响因素:
(1)空气温度:1℃
(2)空气压力:0.3kPa
(3)相对湿度:30%
特别是振动对测量的影响是非常大的,振动可能导致测量数据的分散,明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。
测量尽量在恒温车间进行,激光干涉仪什么品牌好,以保持环境温度的相对稳定;尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源;在夏季,为了减少激光器的发热,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。


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