太阳能电池根据所用材料的不同，太阳能电池还可分为：矽太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米晶太阳能电池、有机太阳能电池，其中矽太阳能电池是目前发展***成熟的，在应用中居主导地位。
（1）矽太阳能电池
矽太阳能电池分为单晶矽太阳能电池、多晶矽薄膜太阳能电池和非晶矽薄膜太阳能电池三种。
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由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，客退光伏板回收，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去
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该工艺用于太阳能电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，
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