




准分子激光器出现于七十年代初,由于其单光子能量大,量子效率高,准分子预混气供应,可实现高功率运转且处于紫外波段,因此短短的十几年中得到了迅速发展。进入八十年代,商品化准分子器件不断涌现,在实验室和工业界应用前景越来越广,使得该类器件成为气体激光器中发展***快的器件之一。 但是与其它气体激光器相比,准分子器件的***1大不足是光束质量差。为此,国际上,合肥准分子预混气,在八十年代后期,开始在商品器件上引入非稳腔以改善光束质量,准分子预混气公司,如西德 Lambda Physik公司的产品〔幻。国内虽然在实验室内实现了KrF输出〔2〕〔3〕,但实用型器件至今仍停留在单一的XeCI(3O8nm)谱线,没有能很好地解决材料对FZ的耐腐蚀问题,因此限制了更短波长实用器件的出现,如KrF(2 48nm),ArF(193nm)等。另一方面,大部分器件采用平一平腔结构,光束发散角高达3~4个mrad,而刻蚀、遥感等领域则需要发散角小一个数量级的激光输出。
目前用于皮肤科临床治1疗的308准分子光治1疗是准分子激光的一种,即氯化氙(XeCl)准分子激光,属连续的脉冲气体激光,其波长在UVB范围内,脉冲宽度一般为l0~30 ns左右。临床上治1疗用的激光发射1器有Xtrac ( PhotoMedex,USA ) [ 4~6 ]、Lambda Physics LPX105E[ 2, 3, 7, 8 ]以及其他类型的发射1器[ 9 ] ,常包括XeCl气体系统,由于XeCl二聚体由惰性气体氙(***外层有8个电子)和卤素氯(***外层有7个电子)组成,准分子预混气哪家好,在电流激1活时以结合状态存在,而发出脉冲式激光。
准分子激光(英文:Excimer laser)是一种紫外气态激光,处于激发态的稀有气体和另一种气体(稀有气体或卤素)结合的混合气体形成的分子,向其基态跃迁时发射所产生的激光,称为准分子激光。
目前准分子激光已广泛应用在临床***以及科学研究与工业应用方面,如:钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积、物***相沉积、磁头与光学镜片、硅晶圆的清洁、微机电系统相关的微制造技术等等。
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