

激光干涉仪为什么要越程量?
以测量位移平台的线性***精度为例,在位移平台旁边架设激光干涉仪,在平台上放置分光镜和反射镜,调整激光器和镜组的位置,使出射光和入射光的光斑重合,激光器前排的三个指示灯显示绿色,在电脑测量软件上设置第1***点、***终***点、间距值、目标数、测量次数以及越程量大小等数值,点击“开始”按钮进行测量。激光干涉仪在测量回程***点时,激光干涉仪哪个牌子好,需要越程量位移一段距离,即可保证在测量回程的第1点(***终***点)数值时,为绝1对数值,从而保证了测量全程的精1确度。
引起激光干涉仪测量误差的部分原因:
阿贝误差:因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,激光干涉仪品牌报价,引起的阿贝误差越大。
正确方式:设备校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴,激光干涉仪厂商,使激光光束与运动轴重合(或尽量靠近),减小阿贝误差。
扩展:SJ6000激光干涉仪用户在进行两台同类设备***精度的对比时,应该进行同轴比对,即共用线性镜组,这样才具有可比性。
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